Parc d’équipement déployé complètement depuis 1994 et stabilisation complète de la production depuis lors
Réacteurs d’épitaxie EPVOM & EJM-SG
Four d’oxydation humide
Equipements de gravures sèches (RIE, IBE, RIBE, ICP) et hottes de chimie pour gravures humides
Réacteurs de PECVD
Réacteurs de dépôt de métal DIBS et e-beam
Photolithographie UV et holographique
Bâtis de passivation UHV
Bâtis de traitement anti-reflet des facettes lasers par E-beam et IBD
Machines de test automatique sous-pointes de plaquettes, de barrettes et de puces lasers ou détecteurs
Equipements de brasure et câblage automatiques
Bancs de test et baies de déverminage automatiques pour les composants sur embases